清段玉裁撰。分卷仍依説文原目爲十四篇。逐字注解，引證豐富，凡玉篇廣韻及各經典訓詁與説文有異同者，無不采集攷訂而求得其精確之指歸，於篆文亦頗多改正删補。説解旁徵博引，引書至二百二十六種，爲治説文學者所推崇。惟增删篆文，改動説解，武斷之處，亦所難免。後徐承慶有説文解字注匡謬八卷，鈕樹玉有段氏説文注訂，王紹蘭有説文段注訂補，徐灝有説文解字注箋等，對段皆有所補充匡正。參見“段玉裁”。